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SiC碳化硅陶瓷導軌
  • SiC碳化硅陶瓷導軌
產品名稱

SiC碳化硅陶瓷導軌

加工精度 0.001mm
是否定制 來圖定制
粗糙度 Ra0.8
材料成分 碳化硅
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SiC 碳化硅陶瓷導軌憑借卓越性能,成為高端自動化設備的核心運動部件。其超高硬度與耐磨性尤為突出:硬度高達 HV2800,遠超鋼導軌(HV800),在高速往復運動中磨損率僅為金屬的 1/50,配合鏡面加工(Ra≤0.02μm)的表面,可長期保持微米級運動精度,滿足半導體晶圓搬運、精密電子組裝等設備的定位需求(重復定位誤差≤±0.5μm)。?

極端環境適應性顯著:在 - 200℃至 1000℃溫度范圍內,線膨脹系數低至 4.5×10??/℃,遠低于金屬材料,可在焊接機器人、高溫爐內傳送設備等溫差劇烈的場景中穩定運行,避免熱變形導致的軌跡偏移。?

此外,化學惰性與抗污染能力適配復雜工況:耐酸堿、有機溶劑腐蝕,不與半導體制程中的蝕刻氣體反應,同時不產生金屬離子污染,滿足光刻設備、生物醫藥自動化生產線的潔凈要求。其密度僅 3.2g/cm³,比鋼輕 60%,可降低驅動能耗,提升設備運行速度(最高線速度可達 5m/s)。目前已廣泛應用于高精度線性模組、自動化檢測平臺等設備,為自動化系統的高效、穩定運行提供關鍵支撐。

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