半導(dǎo)體陶瓷材料是如何通過(guò)涂層來(lái)提升性能的

    在陶瓷表面通過(guò)技術(shù)手段附著上一層特殊涂層后，使半導(dǎo)體陶瓷的性能發(fā)生變化，目前這種工藝在半導(dǎo)體制品生產(chǎn)過(guò)程中已經(jīng)非常廣泛。例如用于顆粒污染控制的紋理陶瓷涂層。對(duì)于靜電夾盤，噴涂氧化鋁涂層用作電極上的絕緣層，這些電極已嵌入單片氧化鋁夾盤中。覆蓋在電極上的絕緣體的電氣規(guī)格會(huì)產(chǎn)生靜電引力，從而在真空過(guò)程中將晶片固定到位。

半導(dǎo)體陶瓷手指

     然而，ESC技術(shù)最近在涂料中出現(xiàn)了一種全新的應(yīng)用。為了保護(hù)電子層（絕緣體和電極）在晶圓經(jīng)過(guò)時(shí)不受磨損，卡盤的頂層采用了類金剛石碳膜。在氧化鋁陶瓷表面的持續(xù)磨損開(kāi)始損壞電子層之前，ESC可以承受大約80000次晶圓通過(guò)。此時(shí)，電子穩(wěn)定控制系統(tǒng)被送去進(jìn)行翻新。然而，在ESC上涂覆類金剛石碳（用作犧牲磨損層）更具成本效益（無(wú)論是在其原始制造后還是在交付翻新時(shí)），這樣就不會(huì)磨損底層電子層。電子穩(wěn)定控制系統(tǒng)必須盡可能頻繁地進(jìn)行翻新，因此平均維修間隔時(shí)間（MTBM）相同，但電子穩(wěn)定控制系統(tǒng)電子層受到保護(hù)，卡盤的使用壽命更長(zhǎng)。由于類金剛石碳需要保持卡盤的電氣性能，因此該層的電阻率必須精確控制到一個(gè)取決于ESC規(guī)范的值。翻新公司在確保半導(dǎo)體制造商的這些價(jià)值方面擁有高度的專業(yè)知識(shí)，因此，即使原裝卡盤最初不是設(shè)計(jì)有類金剛石碳涂層，涂層仍然可以在翻新步驟中添加。

     還可提供多種其他涂料，每種涂料都具有不同的性能屬性。這些包括具有強(qiáng)疏水性的抗?jié)裢繉樱?9.9%的氧化釔涂層具有很強(qiáng)的抗等離子體性能；電荷耗散鈦鎂涂層，其性能等級(jí)可根據(jù)應(yīng)用進(jìn)行調(diào)整；和CVD金剛石涂層，用于CMP調(diào)節(jié)劑，也用于泵密封件等高磨損應(yīng)用。