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氮化鋁陶瓷加熱盤

  •        半導(dǎo)體設(shè)備零件中的氮化鋁陶瓷加熱盤,是依托氮化鋁(AlN)陶瓷材料優(yōu)異特性制成的核心溫控部件,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓制造的薄膜沉積、光刻、離子注入等關(guān)鍵工序,承擔(dān)精準(zhǔn)控溫與均勻傳熱的重要功能。

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  •     AIN 氮化鋁陶瓷加熱盤是精密制造領(lǐng)域的關(guān)鍵溫控部件,憑借氮化鋁材料的卓越性能廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子封裝等高端場景。其核心優(yōu)勢在于超高導(dǎo)熱性,導(dǎo)熱率達(dá) 170-230W/(m?K),遠(yuǎn)優(yōu)于傳統(tǒng)氧化鋁陶瓷,可實現(xiàn)快速升溫與均勻控溫,溫差精度控制在 &pl

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