在半導體設備制造領域，材料的耐高溫、絕緣性以及耐腐蝕性等特性至關重要。陶瓷零部件由于自身特殊的性能優(yōu)勢，在眾多材料中脫穎而出，已然成為眾多設備不可或缺的關鍵組成部件。其在不同設備當中的應用，可以根據(jù)各類設備所具備的功能模塊來進行細致劃分： 一、刻蝕