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氮化鋁陶瓷坩堝
氮化鋁具有非常優異的熱傳導性能，是坩堝的理想材料，但是用這種材料來制作坩堝的成本比較高，這也使得它的應用受到了一定限制。人們在工業生產時，會使用到外形尺寸各不相同的多種坩堝，而這些坩堝的加工工藝以及表面處理方式也不完全相同。鈞杰陶瓷目前可以生產小至5mm，大至300mm口徑的氮化鋁陶瓷坩堝。
6寸AlN氮化鋁晶圓托盤
12英寸氮化鋁晶圓加熱盤
氮化鋁陶瓷中針板
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