搜索關(guān)鍵詞: 氮化硅陶瓷加工 氮化鋁陶瓷加工 macor可加工微晶玻璃陶瓷
產(chǎn)品名稱 | 氧化鋁陶瓷刻蝕環(huán) |
加工精度 | 0.01mm |
是否定制 | 按圖紙定制 |
粗糙度 | 0.1μm |
材料成分 | 氧化鋁陶瓷 |
我要定制 | 按客戶需求接受定制;歡迎來廠參觀! |
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氧化鋁陶瓷刻蝕環(huán)是半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備中的核心耗材,憑借材料特性成為晶圓加工的關(guān)鍵保障。其耐高溫與抗等離子體腐蝕能力尤為突出:在 1300℃以上的刻蝕環(huán)境中,95% 純度的氧化鋁陶瓷仍能保持結(jié)構(gòu)穩(wěn)定,可耐受氟基、氯基等強(qiáng)腐蝕性等離子體沖刷,使用壽命較金屬環(huán)延長(zhǎng) 3-5 倍,大幅降低設(shè)備停機(jī)更換頻率。